計測標準高度化に関する研究（概要）：真円度測定の不確かさに関する研究

摘要

真円度測定による測定値の不確かさを見積もることを目的に，測定値の誤差要因を明確にすることからはじめる．真円度測定の回転精度校正用に準備されているガラス製半球を被測定物としたPTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt)による不確かさ解析の報告によると，誤差要因は被測定物，スピンドル特性，プローブ校正，そして温度ドリフト効果が取り上げられている．上記報告では，測定機の回転精度と被測定物の形状精度を分離する必要から，高精度の真円度測定機Talyrond73型を用い，マルチオリエンテーション法を採用している．しかし，今回の報告は一般的な被測定物を対象にしているため，評価対象測定機としてTalyrond62型を取り上げ，誤差見積もりを試みるつもりである．そのため，上記の誤差項目の評価手順を参考に，現実の測定状況を考慮して検討していくことにする．