真空紫外光表面処理による合成樹脂部材の活性化表面接合

摘要

微小空間での局所的な化学反応が基礎と応用の両面から 注目され，半導体微細加工技術を応用したマイクロ化学技 術の発展により，マイクロ流路チップによる化学分析や化 学合成が広まりつつある.そのさらなる発展のために， 軽量で破損しにく く大量生産によるコストダウンが可能な， 合成樹脂基板を用いたマイクロ流路チップの開発が進めら れている.筆者の研究グループでは，射出成形によって加 エしたマイクロ流路部品を，接着剤を使わず熱融着温度以 下の低温で接合?封止する技術を，産学共同研究により開 発した.本稿では，シク口才レフインポリマー（Cyclo-Olefin Polymer, COP)と呼ばれる，飽和炭化水素系の非晶質プ ラスチックの光活性化表面接合について紹介する.