ナノインプリント法を用いた埋込印刷

摘要

プリンテッドエレクトロニクスは，印刷技術を用いて電子回路やセンサーなどの電子デバイスを製造する分野である．近年の材料技術の発展に伴い，印刷プロセスや周辺技術の研究開発が盛hに行われている．印刷プロセスのパターニング精度を高めることは，デバイスの高機能化，高集積化に貢献できる．本報告では，微細でアスペクト比の高い印刷パターンを得るため，ナノインプリント法を用いた印刷プロセスについて紹介する．