RF-MEMSスイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発

摘要

本研究では，薄膜間の内部応力制御と伝送線路コンタクト部の制御を行い，低電圧で駆動可能なRF-MEMSスイッチ用の圧電薄膜型マイクロアクチュエータについて検討を行った。薄膜間の内部応力制御については，弾性層であるCr薄膜の成膜条件を最適化することで，初期たわみの軽減について検討した。また，大きな変位量が得られる片持ち梁型アクチュエータと伝送線路コンタクト部をバネ特性を有する剛性の小さなコネクタにより連結した新たなアクチュエータ構造を提案，試作し，初期たわみと変位量について評価を行ったので報告する。