...
首页> 外文期刊>Физика >ВЛИЯНИЕ АНОДНОГО ОКИСЛА НА КОНЦЕНТРАЦИЮ ЭЛЕКТРОНОВ В n-СаАs
【24h】

ВЛИЯНИЕ АНОДНОГО ОКИСЛА НА КОНЦЕНТРАЦИЮ ЭЛЕКТРОНОВ В n-СаАs

机译:阳极氧化物对N-SaaS电子浓度的影响

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
   

获取外文期刊封面封底 >>

       

摘要

Исследовано влияние анодного окисла на концентрацию электронов вблизи границы раздела Gа_2O_3-n-ОаАs. Получены кривые распределения электронов по координате в зависимости от напряжения анодирования, времени обработки оксидных пленок в кислородной плазме, температуры и длительности отжига. Снижение концентрации электронов в полупроводнике после нанесения анодного окисла объясняется появлением вакансий Gа, которые являются акцепторами в арсениде галлия.
机译:研究了阳极氧化物对Ga_2O_3-N-OAAA分区边界附近的电子浓度的影响。 根据阳极氧化电压,氧化膜在氧等离子体,温度和退火持续时间内的加工时间获得坐标电子分布曲线。 施加阳极氧化物后,减少半导体中的电子浓度是由于GA空位的出现,即Galiya砷化物中的受体。

著录项

  • 来源
    《Физика》 |2013年第9期|共6页
  • 作者单位

    Национальный исследовательский Томский государственный университет г. Томск Россия;

    Национальный исследовательский Томский государственный университет г. Томск Россия;

    Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова Национального исследовательского Томского государственного университета г. Томск Россия;

    Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова Национального исследовательского Томского государственного университета г. Томск Россия;

    Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова Национального исследовательского Томского государственного университета г. Томск Россия;

    Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова Национального исследовательского Томского государственного университета г. Томск Россия;

    Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова Национального исследовательского Томского государственного университета г. Томск Россия;

    Национальный исследовательский Томский государственный университет г. Томск Россия;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 rus
  • 中图分类 物理学;
  • 关键词

    анодный окисел; отжиг; кислородная плазма; дефекты; вакансии галлия;

    机译:阳极氧化物;退火;氧等离子体;缺陷;空位镓;

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号