アルゴイオンビームを使ったSEM用断面試料作成装置クロスセクションポリッシヤ（CP）SM-09010

摘要

複合材料などの断面観察では結晶粒の大きさ，層構造，反応層の膜厚や空隙などを知ることが重要であり，この場合，試料作製は機械研磨法を用いることが一般的である。 機会研磨法の場合，硬さの異なる材料の接合部や接合界面に生成される反応層などを平滑に鏡面研磨することは非常に困難である。 機会研磨法ではFig. 1に示すように，a）硬さの異なる材料を研磨すると柔らかい部分が先に削れるため凹凸ができる，B）柔らかい材料を研磨すると硬い研磨材が材料に埋め込まれる場合がある，C）柔らかい金属などの研磨では材料中に空隙があると材料が伸び変形する場合がある，d）材料中の空隙に研磨材が詰まってしまう，e）金属材料などでは研磨表面にできる加工歪みによって結晶の情報が得にくくなる，などの問題がある。