DLCパッドによる吸着防止磁気ヘッドスライダに関する研究－DLCパッドおよびABSデザインの最適化

摘要

HDDの高記録密度化には、磁気ヘッドスライダの浮上量低減が必須であり、浮上量低減のため、磁気ディスクの表面粗さを低減する取組がなされてきた。 それにともない、CSS方式を用いるHDDでは、磁気ディ不クの表面粗さの低減による、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク間の吸着が問題となっている。 本研究では、吸着を低減し信頼性の良いHDIの開発を行うことを目的に、磁気ヘッドスライダ上にDLCによるパッドを付加し、CSS 時のヘッド·ディスク間のStiction·Frictionの測定結果をもとにDLCパッドおよびABSデザインの最適化を行った。 結果、低バンプ高さのLZTディスクに最適にデザインしたDLCパッドを付加した磁気ヘッドスライダを用いることにより、15nmの浮上高さで、十分な耐吸着性とCSS信頼性を有するHDIの開発を行うことができた。