ЭКСПРЕСС-КОНТРОЛЬ толщины И СПЕКТРАЛЬНО-ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЕМ InP И СТРУКТУР V_xO_y/InP

摘要

Методом спектральной эллипсометрии определены толщины и оптические свойства пленок, сформированных термооксидированием InP и структур V_xО_y/InP. На основании сравнения результатов определения оптических характеристик и толщины пленок нанометрового диапазона с данными экспресс-эллипсометрического метода обоснована необходимость использования для пленок сложного состава обоих методов. Показано, что поглощение в таких пленках обусловлено, в частности, присутствием неокисленного индия, влияющего на оптические свойства пленок и результаты эллипсометрических измерений.