ゾル－ゲル法による強誘電体薄膜の形成と評価

摘要

ゾル－ゲル法は，周知の通り1970年代からガラスの低温合成法として広く知られるようになった．この方法は種々の優れた特徴を有するが，中でも前駆体の分子設計が可能であり種々の組成のナノ粒子や薄膜を容易に調製できる点は特筆をご催する．そして，近年ゾル－ゲル法はこの特長を生かして，種々の機能性材料の探索に利用されるようになってきた．