ナノホールアレイにもとづいた金属ナノ構造配列の形成とプラズモンデバイスへの応用

摘要

金属ナノ構造体に光を照射すると，ナノ構造体の表面近傍には局在表面プラズモン共鳴（LSPR）に由来する増強光電場が形成されることが知られており，センシングデバイスや太陽電池など，さまざまな光機能デバイスへの応用展開が提案されている．そしてこれらデバイスの性能は光電場の増強度に依存して おり，増強度は金属ナノ構造の形状や配列に 大きく依存することから，幾何学形状が精密制御された金属ナノ構造配列の形成手法は大きな関心を持たれている．