ポーラスアルミナを用いたナノインプリント法によるナノ·マイクロ階層構造の形成と撥水表面への応用

摘要

ナノインプリントプロセスは,モールドの表面構造に対応した微細な凹凸構造を基板表面にー括形成可能なことから，様々な機能性デポイスを作製するための手法として有効である．我々は，これまでに，陽極酸化ポコラスアルミサを用いたナノインプリントプロセスによる, ナノ規則表面の形成とその応用について検討を進めてきた．本手法によれば、大面積め規則パターンを高スループットに得られることに加え，陽極酸化条件を変化させることにより，ナノパターンの構造制御も可能なことから，反射防止表面や撥水表面を作製するための手法とじて有効である．