Лазерная микрофрезеровка в мелкосерийном производстве металооксидных датчиков на основе керамических мембранных структур по МЭМС-технологиям

摘要

Рассмотрена гибкая технология лазерной микрофрезеровки для производства керамических МЭМС-микрона-гревателей в SMD-корпусах для металооксидных датчиков. Представлены ключевые технические факторы, влияющие на возможность использования металлооксидных датчиков в различных областях применения. Показано, что описанная технология позволяет производить все части металоокидных газовых датчиков в SMD-корпусе типа SOT-23.