ФОРМООБРАЗОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС SHAPING OF MEMS ELEMENTS

摘要

Рассмотрены технологии жидкостного травления кремния при формировании микромеханических датчиков, например акселерометров и датчиков угловой скорости, имеющих в своем составе упругие элементы сложной формы. К числу технологий жидкостного травления кремния относятся анизотропное и изотропное травление. Проанализированы механизмы растворения кремния при проведении процессов травления. Проанализированы факторы, позволяющие добиваться высокопроизводительных процессов травления. Показано, что комбинация жидкостного анизотропного и изотропного травления позволяет формировать кремниевые микроструктуры МЭМС-датчиков заранее заданной геометрии.