CdSe／ZnS量子ドット薄膜の表面プラズモン共鳴による発光増強

摘要

CdSe／ZnS量子ドットのスピンコート膜による青色発光は，銀及びアルミニウム薄膜上の表面プラズモン共鳴によって増強することができる．今回はその発光増強に対する，金属基板の種類や膜厚，酸化膜，加熱の効果について調べた．50nmの金属膜厚の場合，SiO_2成膜によって銀，アルミニウムともに大きく増強した．銀15nm の膜厚の場合，200°Cの基板加熱による表面構造の変化に伴い消光から増強に転じ，金属表面にSiO_2をスパッタリングで成膜することによりさらに増強した．アルミニウム15nmの膜厚の場合は増強し，基板加熱によりさらに増強した．またSiO_2成膜によって，さらなる発光増強が得られることも確認した．