レーザー光を利用した気相からの高速結晶成長

摘要

一般に.レーザー光を用いた材料の合成では，パルスレーザーを集光して局所的に大きなエネルギーを得る.これに対して，連続発振レーザーを広げて用いることで，大きな領域に活性な化学気相成長場を作り出すことができる.気相からの自己配向成長や自己組織化の技術は，実用工業材料に新たな価値を見いだすものである. 本稿では，レーザ一光を利用した実用セラミックス材料の化学気相成長法(CVD)を紹介し，電子顕微鏡を通して気相からの高速結晶成長を観察する.