電磁加速プラズマを用いた窒化珪素の高速成膜

摘要

プラズマを電磁力（ローレンツ力）で加速させると，熱プラズマの気体力学的な膨張加速に比べて，より高速のプラズマ流を生成することができる。 一般に電磁加速プラズマガンは通常の熱プラズマトーチと同様の同軸電極構造をもつものが多いが，大きな電磁力を発生させるためにキロアンペアオーダーの大電流アーク放電を利用する。 大電流放電によって，他のプラズマ熱源に比べて高速かつ，高温·高密度の大面積プラズマを生成することができる。 そのため，各種のプラズマ材料プロセシングへの応用が期待される。