中高エネルギー核子入射反応断面積の評価と半導体シングルイベント事象への応用

摘要

過酷な宇宙線環境に曝される人工衛星ばかりでなく、地上や航空機内で使用されるコンピュータにおいても、半導体メモリーデバイスの高集積·微細化に伴い、宇宙線によって誘起される誤動作（ソフトエラー）の発生が懸念されている。例えば、地上における熱領域からGeV領域までの広範なエネルギー分布をもった宇宙線中性子が、0．1〃m以下の最小加工寸法に達する次世代半導体デバイスのスケーリングに対する新たな障壁となりうることが指摘され、近年、国内外の半導体業界を中心に宇宙線中性子誘起ソフトエラーの研究に関心が高まっている。