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机译:化学束气相沉积系统的几何结构,用于薄氧化膜的有效组合研究:沉积膜性能与前驱体流动模拟
thin film deposition; oxides; chemical beams; combinatorial;
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机译:使用无水Hf
机译:氧化铈,氧化镓铟和氧化镁薄膜的金属有机化学气相沉积:前体设计,膜生长和膜表征。
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机译:化学束气相沉积系统的几何形状,用于薄氧化膜的有效组合研究:沉积膜特性与前体流动模拟
机译:反应电子束 - 物理气相沉积(EB-pVD)沉积的微米厚氧化钆薄膜的工艺 - 结构 - 性质关系。