SuperPro行ぅ半導体製造工場での超精製水製造と水のリサイクル例

摘要

ここでは，半導体製造施設に関連する水の浄化および水処理プラントの簡単な例題を取り扱う．500〃h約写，200gpmの都市水を処理し，半導体製造工場で使う470月／hの精製水を作る．入り口ストリームの稔個体畳は，225ppm．