紫外·可視光を用いた多機能共焦点レーザー走査顕微鏡の開発

摘要

様々なタイプの共焦点レーザー走査顕微鏡（CLSM）が開発され、生物/医療ノ電子/機械/材料といった多くの分野に広く応用されている。CLSMの典型的な特長は、レーザー光を光源として使用していることと3次元イメージング計測にある。 近年ナノテクノロジー研究の急速な成長に伴い、更に高い分解能をもつ．た近接場走査光学顕微鏡（SNOM）等が注目を浴びている。 しかし、CLSMはSNOMがもたない3次元計測という特長をもち、かつSNOMと光学顕微鏡の中間の分解能と測定範囲を持っているため、いまだに重要な役割を果たしている。