4Probe－SPMによるミクロ物性評価に関する取り組み

摘要

固体酸化物形燃料電池（SOFC）の電極のように固体／固体の界面が発電特性に大きな影響を及ぼすデバイスに関する研究を進めていくと、固体／固体界面が発現する物性を直接評価したい願望に駆られることがしばしばある。これまでも多くの研究者が界面物性の直接評価について取り組hできているが、その実現に苦慮しているのが現状ではないだろうか。SOFCの電極界面を評価しようとするときに、ターゲットとなる領域は数十から数百ナノメートルであり、平面分解能自体は既に確立しているいくつかの表面物性評価法で事が足りる。