兵庫県立大、光を利用するジャイロの新製法考案シリコンの結晶面を活用、4枚の反射鏡を一木彫り携帯電話やカメラなど民生機器への応用に期待

摘要

兵庫県立大学大学院の前中一介·助教授らの研究グループは、光を利用したジャイロ（加速度センサー）の簡便な製法を考案、小型·集積化に力を入れている。 彫刻の一木彫りのようにシリコン基板を薬液で削って4枚の反射鏡を一気に作り込む。 しかも、これまで避けられなかった反射鏡の精密な位置合わせが不要だ。 高性能でありながら、製造工程を簡略化して低価格の実現を見据える。 携帯電話やカメラなど民生機器の手ぶれ補正や低速度撮影の強化への応用が期待される。