マスフロー千夜一夜物語 第37回

摘要

「質量流量計」に分類される熱式流量センサーを搭載したマスフローコントローラ（MFC）は半導体製造装置を主体にメジャーなパッケージであるが、そのブラックボックス的な扱いから、トラブルシューティングに関するノウハウが不足している。前回に引き続き、特にMFC特有のトラブル事例を紐解きながら、その対処方法に関して解説する。