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自己組織化構造を用いた化合物半導体のナノ·マイクロファブリケーション(I)-自己組織化構造のナノテクノロジーへの応用とInPの微細加工

机译:使用自组装结构和INP的微加工的化合物半导体的纳米微纤维(I)组装结构

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摘要

人為的な手を加えず環境を整えることで自然に形成される自己組織化構造(自発的秩序構造)を利用するナチュラルリソグラフィーは今後のナノテクノロジー発展の鍵を握る.本稿では微粒子の自己集積を利用した化合物半導体InPの湿式法によるナノ·マイクロ加工について紹介する.
机译:通过在没有人造手上刨花的环境来使用自组装结构(自发有序结构)的自然光刻,使未来纳米技术发展的关键保持在未来的纳米技术发展。 在本文中,我们使用微粒的自累积来引入纳米微处理通过化合物半导体INP的湿法方法。

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