最先端X線技術：蛍光X線ホログラフィー法によるエピ夕キシャル薄膜の構造評価

摘要

ホログラフィーは，1948年ハンガリーの研究者Gaborによって考案された技術であり，物体を素通りする波（参照波）と散乱された波（物体波）の干渉によって物体の位置に関する位相情報（ホログラム）を記録し，参照波をホログラムに照射するかあるいは解析的に再生することで物体の三次元像を得ることができる。 Gaborの目的は，当時，限界に達していた電子顕微鏡の分解能をあげることであった。 電子顔微鏡は，使用する電子レンズの球面収差の問題から，電子波長の分解能を到達することができない。 そこで，Gaborはレンズを使用しないホログラフィー接を考案した。 Gabor型のホログラフィー法では像を結ぶ際，干渉性の良い波（位相の揃った波）（電子線，光波）が必要である。 Gaborは電子線を使ってホログラフィー実験を試みたが，当時の技術では干渉性のよい電子線をつくることができず，電子顕微鏡の分解能をあげるには至らなかった。 1960年にMaimanが可視光レーザーの発振に成功して，ホログラムシールやバーチャルリアリティなど身近で馴染み深いものになった。 また電子顕微鏡の分野においても干渉性の良い電子線が得られるようになり，電子線ホログラフィーは磁性体の磁区構造観察に広く用いられている。