広域回転数制御型多段ドライ真空ポンプ（ESRシリーズ）

摘要

弊社では1996年に省エネ型ドライ真空ポンプとしてAAシリーズを開発し一般販売している。今回，さらなる省エネ化の市場要求に応えるため，ESRシリーズを開発し2003年4月より販売を開始した。 ESRシリーズはロータの段数や形状および回転数の見直しを行い圧縮動力を低減させることで，消費電力を従来のAAシリーズに比べ最大で60％削減できた。 消費電力だけでなく冷却水やN{sub}2などのユーティリティ消費量も削減している。 また，アイドリング運転機能を追加することで，待機運転時に回転を落とす運転が可能となった。 その結果AAシリーズと比べ消費電力を最大80％削減につながっている。 また広域回転数制御により1機種で広範囲の排気速度をカバーできるため機種の削減にもなっている。