広域回転数制御型多段ドライ真空ポンプ［ESRシリーズ］

摘要

日本機械工業連合会主催の平成18年度優秀省エネルギー機器表彰において，弊社のドライ真空ポンプ［ESR シリーズ］が会長賞を受賞した。 本機器の技術的特長と省エネルギー効果について説明する。