多级爪型干式真空泵的结构分析与优化

摘要

介绍了爪型干式真空泵工作原理与结构特点,利用空间力系相关理论对爪型转子在高速旋转过程中动平衡状态进行了分析与试验研究,利用在不同侧面打减重盲孔的方式来调节转子的动平衡状态.针对真空泵的泄漏问题,提出了利用磁流体密封技术提高泵的真空度,并对流体磁场的强度进行了模拟分析.设计了真空泵检测系统,并利用此装置对磁流体密封和机械密封的方式进行了真空度检测,发现磁流体密封的真空度明显优于机械密封的真空度.