広域回転数制御型多段ドライ真空ポンプ（ESRシリーズ）

摘要

半導体製造ラインにおけるドライ真空ポンプの使用台数は1ラインあたり数百台と多く，しかも24時間連続稼動しているためドライ真空ポンプへの省エネルギー化の要求はますます高まっている。 1996年から省エネルギー型ドライ真空ポンプとして販売しているAAシリーズは従来のAシリーズに対して最大55％の電力削減を実現し平成11年度の資源エネルギー庁長官賞を受賞している。 今回，ESRシリーズは省エネルギー化の技術を更に進め，AAシリーズに対し更なる省エネルギー化を実現したことが評価された。