高温用薄膜積層型圧電超音波センサの開発と高温構造物への適用

摘要

本稿ではゾルゲル複合体による薄膜積層型圧電超音波センサの作製工程を簡単に触れた後，近年熊本大学で開発された有望な新規圧電材料であるチタン酸鉛（PT）／PZTについて，その高温特性について他の材料と比較した後，BiT／PZT超音波センサによる亜鉛メッキ浴槽厚測定応用について説明を行う。