記録密度5Tビット／in~2のビットパターンドメディア作製技術：微細加工メディアでHDDの高密度化限界を超える

摘要

HDD（ハードディスクドライブ）の大容量化を実現するため，自己組織化ナノパターニング技術を用いたビットパターンドメディア（BPM）の作製に取り組hでいまれ5T（テラ：10~(12)）ビット／in~2の記録密度では，1ビットの直径が8nm以下という超微細ビットをディスク上に12nmピッチで作製することになります。今回，BPMの記録エラーを防止するため，ガイド溝内に目印を付けることで微細ビットを精度良く配置する技術を開発しました。また，記録ビットがあまりにも小さいために記録が室温で揺らいで消えてしまう現象を克服できる高磁気異方性エネルギー材料を開発しました。