超咸顕微許測光学研究部

摘要

本研究部では，軟Ⅹ線を光源として，解像力50nmで元素コントラストが得られる超顕微鏡などを実現することを目指している．現在，心臓部の光学超薄膜を用いたサブnm超精密結像鏡を開発するために，軟Ⅹ線多層膜反射鏡の周期膜厚精密制御法の開発と軟Ⅹ線波面干渉計測装置の開発に取り組hでいる．2004年の研究活動と成果は，以下のように概括される。