超顕微計測光学研究部

摘要

本研究部では，波長20nmから3nm程度のレーザープラズマ軟Ⅹ線光源を用いて，有機·無機から成る多元物質や磁性材料，生体試料などの全ての物質に対して分解能50nmの元素コントラスト画像が得られる直入射反射光学系の軟X線顕微鏡を開発することを目指している．回折限界に迫る結像を達成するためには. ?非球面ミラーを含む光学設計技術 ?大型曲面基板上に膜厚を精密制御した多層膜鏡作製技術 ?多層膜鏡の反射波面の干渉計測技術 ?物理光学的な手法による波面誤差補正技術 ?多層膜鏡の精密アライメント技術と多岐に亘る要素技術の研究開発が不可欠であり，それらを並行して進めている．2006年の研究活動と成果の中から，二つの項目を取り上げて以下に報告する．