振動する基準面を用いた微細格子投影による微小物体の形状計測

摘要

現在，小型化が進む電子部品の製造過程では，微小な電極の形状を高精度かつ定量的に計測する技術が必要とされている．本研究室では，微小物体の形状を計測する手法として，タルポ効果を用いた微細格子投影による形状計測手法を考案した．しかし，微小物体を高精度に計測する環境を構築するには，滑らかな輝度分布をもった格子の投影が可能で，平面度が非常に高い基準面を用いた校正が必要となる．本研究では，校正時に基準面を面内方向で振動させる手法を提案する．今回は振動する基準面を用いて校正をおこなった際の微小物体の計測精度の評価結果を報告する．