電子部品のボンビング法ヘリウム漏れ試験評価－試験条件の検討のために

摘要

電子部品等の小さな内部空間を持つ密閉容器のヘリウム漏れ試験には、ボンビング法での検査が行われている。しかし試験結果である漏れ量の計測値の評価は、ボンビング圧力·ボンビング時間を併記するのみで、別の試験体にしたときや条件を変えた時に比較できる値、即ち標準空気換算リーク量に換算した評価を実施している例は少ない。ここでは実際に測定した漏れ量を、原理式に則り、標準空気換算リーク量に換算した評価の実施例を示す。