機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引·低駆動電圧動作

摘要

面発光レーザにマイクロマシン構造を集積したMEMS VCSELは高速波長掃引や高コヒーレントな光源としてセンシングや医療用イメージングへの応用が期待される．しかしマイクロマシン構造の駆動電圧が高いという課題がある．我々はカンチレバーの短尺化による高速動作と機械的共振の高Q値化による低電圧動作を提案する．今回は機械的共振を利用して，低電圧·高速波長掃引を行ったので報告する．