低流量微細粒子投射装置COP SYSTEM

摘要

従来のショットピーニング装置では，微細粒子の凝集あるいは粒子流量や粒子速度の制御が困難で，表面テクスチャにおいてはサブミクロン以下の微細粒子を安定的かつ高精度に投射できる技術への期待も高まっている。本稿では，新開発された低流量微細粒子投射装置（COP）（図1）の主な特徴と適用事例について紹介する。