トライボロジー試験·測定技術：走査型プローブ顕微鏡を用いたスクラッチ試験およびリソグラフィー/マニピュレーション

摘要

走査型プローブ顕微鏡（SPM：Scanning Probe Microscopy、題字横写真）は、これまでそのいくつもの特長を以って、企業や大学の研究開発分野や生産現場で使用されてきた。最も多く挙げられる高分解能な顕微鏡としての試料表面の観察、特に凹凸形状のオングストロームオーダーでの検出（写真1）、あるいは時に高精度な粗さ計としての使用など、面内方向の分解能のみならず縦の表面特徴の検出に長けていることが、類似した高分解能顕微法としてすでに浸透した電子顕微鏡(SEM)などに対しても優位性を見出せるファクターとなってきた。