印刷技術による薄膜トランジスタの形成－高性能フレキシブルデバイスの実現に向けて

摘要

電子機器の中で非常に重要な役割を果たしているアクティブ素子の一つとしてトランジスタを挙げることができる．トランジスタの中でもフレキシブルデバイス実現のキーとなるのが薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor: TFT）である．他にも重要な部品は多々あるが，TFTの中には他の素子で重要になる構成要素がすべて含まれており，高性能なTFTを印刷で製造することができれば，ダイオードやキャパシタ等の素子は全て同様の方法で製造できるようになる．本報では，TFTの基本的な構造や動作機構を説明し，印刷を用いてTFTを製造するための技術や課題について解説する．