東北大＝浜松朴ニクス、量産向け大型窒化ガリウムウエハーの高速·高感度検査技術を確立、分光技術を駆使した半導体の結晶欠陥計測

摘要

東北大学多元物質科学研究所の小島一信准教授、秩父重英数授らは、浜松ホトニクスの地相賢一郎氏と協力し、分光技術に基づく新たな半導体ウエハーの検査技術を開発した。小島准教授らは、半導体結晶の高精度な発光効率計測法（全方位フォトルミネセンス法）を応用することによって、積分球を核とする分光技術を駆使した窒化ガリウム半導体ウエハーの高速·高感度検査手法を確立した。今回の研究成果は、従来手法では制限があったウエハーサイズの問題を解決し、検査時間を大幅に短縮できる。6インチ以上の大型の窒化ガリウムウエハーの品質管理には、ウエハー全面を高速かつ高感度にて検査ができる評価手法が必須。