薄膜アクチュエータの簡単な作製技術を開発/ポリミド樹脂，アルミはく基板へも成膜が可能

摘要

物質·材料研究機構のセンサ材料センター·アクチュエータ機能グループ（石田 章リーダー）は，300°C程度に加熱した基板にTi-Ni-Cu3元系合金薄膜をスパッタ蒸着するだけで，2方向性の形状記憶効果を持つアクチュエータを簡単に作製できる技術を開発した。 基板の両端に乾電池をっなぐとスイッチのON/OFFで動くアクチュエータができるはか，基板にポリミド樹脂や家庭用アルミはくのように高熱に弱いがフレキシブルで加工しやすい材料が使えることから，医療関係やロボット用などアクチュエータとしての用途拡大，および製造コストの削減に結びつくと期待している。