金属／半導体間のショットキー接合を利用したガスセンシンク

摘要

ガスセンサの歴史は古く、1920年代には光学式や接触燃焼式のガスセンサが開発され、炭鉱などでメタン検知用として利用されていた。その後、1960年代に半導体式ガスセンサが開発され家庭用ガス漏れ警報器として実用化されて以降、幅広い分野で様々な種類のガスセンサが利用されている。例えば、1970年代には、自動車などのエンジンの燃焼制御システムに固体電解質式ガスセンサ（固体電解質：安定化ジルコニア）が搭載され、排気ガスを浄化するために必要不可欠となった。