首页> 中文期刊> 《洁净与空调技术》 >半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文除概略介绍气体检测器的种类外,主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述.限于篇幅,本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上,提出个人的一点心得与看法,以作为未来设置气体检测器系统时之参考.

著录项

来源
《洁净与空调技术》 |2002年第4期|36-42|共7页
作者
胡仕新;
展开▼
作者单位

宝维士联盛工程咨询上海有限公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类环境质量评价与环境监测;
关键词
气体检测器; 可燃性气体; 毒性气体; 检测器选择; 检测器评估; 设置规划;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨 [J] . 胡仕新 . 中国半导体 . 2003,第001期
2. 300mm芯片半导体厂废水处理工程分析 [J] . 纪桂飞 . 工程建设(2630-5283) . 2021,第011期
3. 世纪晶源化合物半导体首期芯片厂投产 [J] . . 新材料产业 . 2008,第12期
4. 意法半导体公司在深圳建立新的芯片封装测试厂 [J] . 章从福 . 半导体信息 . 2006,第004期
5. 海力士与意法半导体为在中国的合资存储器芯片制造厂举行落成典礼 [J] . . 电子与电脑 . 2006,第011期
6. 半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨 [C] . 胡仕新 . 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛 . 2002
7. rGO修饰半导体异质结界面调控提高对含氮有害气体的检测 [A] . 李强强 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号