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机译:气态电子会议RF参考单元中离子动能分布的研究
National Institute of Standards and Technology Gaithersburg MD 20899-0001;
argon-oxygen plasmas; ion bombardment; ion energy analyzers; ion kinetic-energy distributions; mass spectrometry; radio-frequency discharges;
机译:气态电子会议RF参考单元中离子动能分布的研究
机译:气态电子会议射频参考单元的一维建模研究
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