SEMによる高分子材料の構造評価

摘要

その後，電界放射型電子銃や，強励磁対物レンズなど多くの新技術が投入され，SEM，TEMともに分解能が飛躍的に向上した。特にSEMは到達倍率が高くなり，更に，リターディング機構，信号選択機構など，多くの機能を装備した。その結果，TEMと相補的に利用できる範囲が広がっただけでなく，SEMでなければできない構造評価も実現されるようになった。ここでは，高分解能·多機能化したSEMによる高分子材料の構造評価事例を紹介する。