レーザガス分析計TDLS200とその産業プロセスへの応用

摘要

可変波長半導体レーザ分光を応用した横河電機のレーザガス分析計TDLS200は，他成分の干渉を受けず，高温や腐食性ガスでも直接高速分析できるとともに，長期安定性を特長とした新世代のプロセスガス分析計である。本稿では，本分析計の測定原理，およびその特長でもある高速リアルタイム計測をベースとした脱硝·集塵プロセスでの煙道排ガスの残留NH_3濃度測定の事例を紹介する。