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机译:磷掺杂多晶硅薄膜氢气效应研究
Polycrystalline silicon; grain boundaries; passivation; hydrogen; solar cells;
机译:磷掺杂多晶硅薄膜氢气效应研究
机译:加氢对多晶硅薄膜电学行为的影响
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机译:PECVD制备的磷掺杂氢化纳米晶硅薄膜微观结构和压阻性能的实验研究
机译:金属诱导的a-硅:氢结晶导致的大晶粒多晶硅薄膜。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:通过固相结晶获得的原位掺杂未氢化多晶硅薄膜制造的薄膜晶体管