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Optical and Electrical Properties of Thin NiO Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering and Spray Pyrolysis

机译:通过反应磁控溅射沉积的薄NiO薄膜的光学和电性能和喷雾热解

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摘要

Thin NiO films are deposited by reactive magnetron sputtering and spray pyrolysis. The main optical constants, i.e., refractive index n(lambda), absorption coefficient alpha(lambda), extinction coefficient k(lambda), and thickness d, are determined. The temperature dependence of the resistance of thin films is found, and the activation energy of films deposited by different methods is determined.
机译:通过反应磁控溅射和喷雾热解沉积薄的NiO膜。 确定主要光学常数,即折射率n(λ),吸收系数α(λ),消光系数k(λ)和厚度d。 发现薄膜电阻的温度依赖性,并确定通过不同方法沉积的薄膜的活化能。

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