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RESIDUAL GAS ANALYZER DETERMINES DIFFERENCES IN GRAPHITE AND ALL-METAL HOT ZONE VACUUM OPERATION

机译:残留气体分析仪确定石墨和全金属热区真空操作中的差异

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摘要

Residual gas analysis shows that graphite is more economical than all-metal design and is capable of producing contamination-free surfaces.
机译:残留气体分析表明,石墨比全金属设计更经济,并且能够产生无污染的表面。

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