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机译:从六甲基环烷蒸气和氩气中沉积薄膜在电感耦合等离子体中的氩气
PECVD; silicon carbonitride; hexamethylcyclotrisilazane; emission spectroscopy;
机译:从六甲基环烷蒸气和氩气中沉积薄膜在电感耦合等离子体中的氩气
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机译:HMDS / NH_3 / O_2 / Ar用于水蒸气扩散阻挡层的电感耦合等离子体增强化学气相沉积法沉积SiO_xN_y膜的特性
机译:等离子体处理对电感耦合等离子体化学气相沉积沉积低介电常数氟化非晶碳膜结构和电性能的影响
机译:电感耦合(RF)等离子体反应器中的金刚石膜沉积。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能